HgCdTe钝化过程中形成的镶嵌结构及其热处理效应

论文类型	技术与工程	发表日期	2004-12-01
来源	半导体学报
作者	孙涛,王庆学,陈文桥,梁晋穗,陈兴国,胡晓宁,李言谨
关键词	HgCdTe CdTe 钝化二维点阵
摘要	通过高分辨x射线衍射仪中的二维点阵研究了溅射的CdTe介质膜对HgCdTe外延层的影响．发现在高溅射能量下沉积的钝化膜由于应力的作用，HgCdTe晶片出现弯曲及大量镶嵌结构，而这种镶嵌结构可通过合理的热处理工艺消除．

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