VLSI超纯水站设计

论文类型	技术与工程	发表日期	2001-03-01
来源	《中国给水排水》2001年第3期
作者	刘建伟,莫德举,寇玉香
关键词	超纯水站设计工艺设备选型
摘要	刘建伟1，莫德举1，寇玉香2 (1.北京化工大学信息科学与技术学院，北京100029；2.新疆维吾尔自治区农科院，新疆乌鲁木齐830000) 　　摘　要：介绍了清华大学微电子所VLSI超纯水站工艺设计思想及设备选型，并阐明了对关键设备选型及材质的技术要求。　　关键词：超纯水站；设计；工艺；设 ...

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