3.12
标准状态 standard condition
温度为273.15K、压力为101 325 Pa 时的状态。本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准。
3.13
企业边界 enterprise boundary
指半导体工业企业的法定边界。若难以确定法定边界，则指企业的实际占地边界。
4 水污染物排放控制要求
4.1 水污染物排放限值见表1。
4.2 企业向城镇污水处理厂排放废水时，其第二类水污染物排放应达到表1中间接排放限值；废水进入具备处理此类污水工艺和能力的集中式工业废水处理厂的企业，其第二类水污染物排放可与集中式工业污水处理厂商定间接排放限值，并签订协议报当地环境保护主管部门备案。企业与集中式工业废水处理厂商定的间接排放限值，不得宽于《污水综合排放标准》中规定的接管限值。未签订协议的企业，其第二类水污染物执行表1中的间接排放限值。
4.3在国土开发密度高、环境承载能力开始减弱，或水环境容量较小、生态环境脆弱，容易发生严重水环境污染问题而需要采取特别保护措施地区的企业，根据生态环境保护工作要求，执行表1规定的特别排放限值。
执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间，由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定。
4.4不同类型的半导体生产企业，其单位产品基准排水量执行表2规定。
4.5水污染物排放限值适用于单位产品实际排水量不高于单位产品基准排水量的情况。若单位产品实际排水量超过单位产品基准排水量，应按公式（1）将实测水污染物浓度换算为水污染物基准水量排放浓度，并以水污染物基准水量排放浓度作为判定排放是否达标的依据。产品产量和排水量统计周期为一个工作日。
在企业的生产设施同时生产两种以上产品，可适用不同排放控制要求或不同行业污染物排放标准时，且生产设施产生的污水混合处理排放的情况下，应执行排放标准中规定的最严格的浓度限值，并按公式（1）换算水污染物基准水量排放浓度：
5 大气污染物排放控制要求
5.1 有组织排放控制要求
5.1.1 大气污染物排放限值见表3。
5.1.2 废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。
5.1.3 进入VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气含氧量可满足自身燃烧、氧化反应，不需另外补充空气的（燃烧器需要补充空气助燃的除外），以实测浓度作为达标判定依据，但装置出口烟气含氧量不得高于装置进口废气含氧量。
吸附、吸收、冷凝、生物、膜分离等其他VOCs处理设施，以实测浓度作为达标判定依据，不得稀释排放。
进入VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气需要补充氧气（空气）进行燃烧、氧化反应的，排气筒中实测大气污染物排放浓度，应按公式（2）换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度。
5.1.4 排放氯气、氰化氢的排气筒高度不低于25m，其他排气筒高度不低于15m（因安全考虑或由特殊工艺要求的除外），具体高度以及与周围建筑物的距离应根据环境影响评价文件确定。
5.1.5 当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时，应在废气混合前进行监测，并执行相应的排放控制要求；若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测，则应按各排放控制要求中最严格的规定执行。
5.2 无组织排放控制要求
企业边界大气污染物任何1小时平均浓度执行表4 规定的限值。
6 污染物监测要求
6.1 污染物监测的一般要求
6.1.1 企业应按照《环境监测管理办法》等规定，建立企业监测制度，制定监测方案，对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测，保存原始监测记录，并公布监测结果。
6.1.2 企业安装污染源排放自动监控设备的要求，按有关法律和《污染源自动监控管理办法》的规定执行。
6.1.3 企业应按照环境监测管理规定和技术规范的要求，设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平台和排污口标志。
6.1.4 对企业排放的废水和废气的采样，应根据监测污染物的种类，在规定的污染物排放监控位置进行。有废水、废气处理设施的，应在该设施后监控。
6.2 水污染物监测要求
6.2.1 水污染物的监测采样按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的规定执行。
6.2.2 对企业排放水污染物浓度的测定采用表5所列的方法标准。
6.2.3 本标准发布实施后，表5所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准，其方法适用范围和条件相同的，也适用于本排放标准对应污染物的测定。
编辑：李丹
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